Articles 產品
超潔淨靶材加工設備(UCSM)
超潔淨靶材表面加工設備
見微科技致力於解決靶材表面因傳統加工所造成的損傷、Particles 殘留，交叉汙染、氧化等問題。見微科發展獨創的濺鍍加工技術，解決各種靶材表面問題，提供靶材使用者良好的靶材使用經驗，靶材使用者將能看到以下好處：
1. 縮短預濺鍍時程，就能提早達到可生產的條件，提升設備 OEE。
2. 薄膜初期的良率提升 (Product Yield)
3. 降低濺鍍過程中的異常放電行為 (Arcing)
4. 顯著提升靶材回濺物的附著能力，Particles 數量減少
5. 上機初期即可以有較穩定的濺鍍電壓
6. 減緩靶材氧化情形
7. 在靶材上機前，使用者即可透過 UCSM 製程的濺鍍數據，提前得知靶材是否有問題，避免異常靶材上機，大幅減少異常發生機會，節省失去良率衍伸的各種成本。
誰合適購置此設備?
靶材製造商：
靶材在出貨前預先做好 UCSM 製程，一來可提升靶材品質競爭力，二來又可將 UCSM 的濺鍍數據做為異常攔截及廠內產品改善依據。
薄膜製造商：
薄膜廠商收到靶材後，在靶材上昂貴的量產機台前，可先 off line 使用高效的 UCSM 製程，提前將各種髒污或是汙染物質移除，讓昂貴設備的稼動率因此可以提升，同時確保薄膜生產初期的品質穩定。
靶材 PM 廠商：
在靶材使用中期進行 PM 後，往往剛上機時需要較長時間才能達到產品穩定生產，透過在 PM 後靶材先進行 UCSM 製程，可節省更多的時間，且能有助於 PM 後靶材特性提升。
ITO 靶材經過 UCSM 處理後的 Nodule 表現
靶材 PM 後，經 UCSM 處理後外觀照片
見微科技致力於解決靶材表面因傳統加工所造成的損傷、Particles 殘留，交叉汙染、氧化等問題。見微科發展獨創的濺鍍加工技術，解決各種靶材表面問題，提供靶材使用者良好的靶材使用經驗，靶材使用者將能看到以下好處：
1. 縮短預濺鍍時程，就能提早達到可生產的條件，提升設備 OEE。
2. 薄膜初期的良率提升 (Product Yield)
3. 降低濺鍍過程中的異常放電行為 (Arcing)
4. 顯著提升靶材回濺物的附著能力，Particles 數量減少
5. 上機初期即可以有較穩定的濺鍍電壓
6. 減緩靶材氧化情形
7. 在靶材上機前，使用者即可透過 UCSM 製程的濺鍍數據，提前得知靶材是否有問題，避免異常靶材上機，大幅減少異常發生機會，節省失去良率衍伸的各種成本。
誰合適購置此設備?
靶材製造商：
靶材在出貨前預先做好 UCSM 製程，一來可提升靶材品質競爭力，二來又可將 UCSM 的濺鍍數據做為異常攔截及廠內產品改善依據。
薄膜製造商：
薄膜廠商收到靶材後，在靶材上昂貴的量產機台前，可先 off line 使用高效的 UCSM 製程，提前將各種髒污或是汙染物質移除，讓昂貴設備的稼動率因此可以提升，同時確保薄膜生產初期的品質穩定。
靶材 PM 廠商：
在靶材使用中期進行 PM 後，往往剛上機時需要較長時間才能達到產品穩定生產，透過在 PM 後靶材先進行 UCSM 製程，可節省更多的時間，且能有助於 PM 後靶材特性提升。
ITO 靶材經過 UCSM 處理後的 Nodule 表現
靶材 PM 後，經 UCSM 處理後外觀照片