全方位靶材濺鍍檢測設備(STC)

靶材全方位濺鍍檢測技術(Sputtering Target Characterization)

靶材濺鍍檢測技術是見微科技為了濺鍍產業打造的創新靶材特性檢測方式，我們提供一種全新的評鑑靶材濺鍍行為的方法，去彌補原來靶材到薄膜之間的代溝，使整體濺鍍產業可以更好的上下游進行連結。靶材濺鍍檢測所關注的是靶材在電漿轟擊下產生的物理數據，這些數據對於靶材製造商來看，可以很快速的與靶材生產或開發參數去連結，透過靶材濺鍍檢測產生的數據，靶材商能加速靶材的開發及品質的關聯性。同時，靶材製造商能有更貼近客戶使用靶材的數據，用相似的語言與終端客戶進行溝通。靶材濺鍍檢測產生的數據，薄膜製造商，可以與其生產製程做連結。常見的需求為再現生產過程因為靶材產生的問題，並透過靶材濺鍍檢測的數據去釐清甚麼樣的靶材特性因子會產生薄膜端生產的問題。更進一步，可將不同靶材供應商的靶材同時收集其濺鍍檢測數據，作為供應商選擇之依據。


靶材相關驗證服務需求請聯繫我們

1. 計劃案第三方驗證， alpha site 驗證
2. 供應商靶材特性分析及比對
3. 生產異常狀態與靶材特性關聯性解析
4. 加速靶材研發循環，見微科提供驗證服務合作

 

STC 設備

見微科技發展此設備，對整個濺鍍產業上下游有所助益，故見微科技也將此設備及技術推廣給整個濺鍍產業。我們不只販售 STC 設備，我們同時也會有完整的人員訓練計畫，會將各種靶材濺鍍檢驗方式及各種濺鍍特徵跟靶材或是薄膜的相關性等知識轉移給購買 STC 設備的廠商，使其能發揮設備的最大價值。



 

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