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超潔淨表面濺鍍加工服務
靶材加工所造成的靶材表面問題：
1. 靶材表面加工損傷及刮痕
3. 靶材表面因加工刀具及清洗溶劑造成的表面異質汙染
4. 靶材因加工及清洗造成的靶材表面氧化現象
薄膜端如何解決?
這些靶材表面的問題，過往薄膜商採用的方法為預濺鍍，將表層材料移除，但有其缺點：
1. 耗費昂貴的機台設備，犧牲設備稼動率，來做靶材表面的問題移除
2. 鍍膜用的設備，電漿 Erosion 的區域只占整個靶面的 60~80%，剩餘區域為回濺抓附區，無法有效的被預濺鍍移除表面
3. 移除下來的物質或是髒污會留存於真空腔體中的遮護板或是工件上
見微科技如何解決?
見微科技獨創超潔淨靶材表面加工技術，其的概念是在靶材上機到薄膜生產設備前，用無水無油的電漿加工，將靶材表面的所有損傷、顆粒、缺陷、氧化全平面的預先移除掉，讓薄膜生產端擁有超潔淨的靶材放入腔體進行生產。經過 UCSM 加工過後的靶材，有以下優勢：
2. 薄膜初期的良率提升
3. 降低濺鍍過程中的異常放電行為(Arcing)
4. 顯著提升靶材回濺物的附著能力，Particles 數量減少
5. 上機初期即可以有較穩定的濺鍍電壓
6. 減緩靶材氧化情形
靶材回濺區 Cross section SEM
