Products 全方位靶材濺鍍檢測設備
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全方位靶材濺鍍檢測設備
靶材全方位濺鍍檢測技術(Sputtering Target Characterization)
靶材濺鍍檢測技術是見微科技為了濺鍍產業打造的創新靶材特性檢測方式，我們提供一種全新的評鑑靶材濺鍍行為的方法，去彌補原來靶材到薄膜之間的代溝，使整體濺鍍產業可以更好的上下游進行連結。靶材濺鍍檢測所關注的是靶材在電漿轟擊下產生的物理數據，這些數據對於靶材製造商來看，可以很快速的與靶材生產或薄膜製程參數去連結。
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